(19)
(11) EP 1 358 671 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
21.11.2002

(43) Veröffentlichungstag:
05.11.2003  Patentblatt  2003/45

(21) Anmeldenummer: 01990318.6

(22) Anmeldetag:  18.12.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/02
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0104/790
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0206/5518 (22.08.2002 Gazette  2002/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 09.02.2001 DE 10105997

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • KASKO, Igor
    81543 München (DE)
  • KROENKE, Matthias
    01099 Dresden (DE)
  • MIKOLAJICK, Thomas
    81543 München (DE)

(74) Vertreter: Kottmann, Heinz Dieter, Dipl.-Ing. 
Patentanwälte,Müller . Hoffmann & Partner,Innere Wiener Strasse 17
81667 München
81667 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG FERROELEKTRISCHER KONDENSATOREN UND INTEGRIERTER HALBLEITERSPEICHERBAUSTEINE