(19)
(11) EP 1 358 684 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.11.2003  Patentblatt  2003/45

(21) Anmeldenummer: 02706645.5

(22) Anmeldetag:  29.01.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 51/20
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0200/312
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0206/5557 (22.08.2002 Gazette  2002/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 09.02.2001 DE 10105914

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BERNDS, Adolf
    91083 Baiersdorf (DE)
  • FIX, Walter
    90762 Fürth (DE)
  • ROST, Henning
    91056 Erlangen (DE)

   


(54) ORGANISCHER FELDEFFEKT-TRANSISTOR MIT FOTOSTRUKTURIERTEM GATE-DIELEKTRIKUM, EIN VERFAHREN ZU DESSEN ERZEUGUNG UND DIE VERWENDUNG IN DER ORGANISCHEN ELEKTRONIK