(19)
(11) EP 1 360 342 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.11.2003  Patentblatt  2003/46

(21) Anmeldenummer: 02722074.8

(22) Anmeldetag:  13.02.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 4/12
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP0201/515
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0207/0772 (12.09.2002 Gazette  2002/37)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 14.02.2001 EP 01103457

(71) Anmelder:
  • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
    80333 München (DE)
  • COATEC GmbH & Co. KG
    36381 Schlüchtern (DE)

(72) Erfinder:
  • REYMANN, Helge
    14167 Berlin (DE)
  • JOHNER, Gerhard
    63571 Gelnhausen (DE)
  • HEUSER, Claus
    63755 Alzenau (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR PLASMABESCHICHTUNG EINER TURBINENSCHAUFEL UND BESCHICHTUNGSVORRICHTUNG