(19)
(11) EP 1 360 343 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
12.11.2003  Patentblatt  2003/46

(21) Anmeldenummer: 02701200.4

(22) Anmeldetag:  18.01.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 14/06
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0200/138
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0206/1165 (08.08.2002 Gazette  2002/32)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 02.02.2001 DE 10104611

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BECK, Thomas
    71737 Kirchberg (DE)
  • WEBER, Thomas
    70193 Stuttgart (DE)
  • SCHATTKE, Alexander
    70499 Stuttgart (DE)
  • HENKE, Sascha
    71263 Weil Der Stadt (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR KERAMIKARTIGEN BESCHICHTUNG EINES SUBSTRATES