(19)

(11)

EP 1 360 715 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 20.03.2003 (43) Veröffentlichungstag: 12.11.2003  Patentblatt  2003/46 (21) Anmeldenummer: 02702354.8 (22) Anmeldetag:  13.02.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/56 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP0201/511 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0206/5541 (22.08.2002 Gazette  2002/34)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 13.02.2001 DE 10106488 24.04.2001 DE 10120029 (71) Anmelder: Pac Tech - Packaging Technologies GmbH 14641 Nauen (DE)	(72) Erfinder: ZAKEL, Elke 14612 Falkensee (DE) TEUTSCH, Thorsten 10965 Berlin (DE) (74) Vertreter: Schoppe, Fritz, Dipl.-Ing.  Patentanwälte Schoppe, Zimmermann, Stöckeler & Zinkler,Postfach 246 82043 Pullach bei München 82043 Pullach bei München (DE)