(19)
(11) EP 1 360 718 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
17.10.2002

(43) Veröffentlichungstag:
12.11.2003  Patentblatt  2003/46

(21) Anmeldenummer: 02703497.4

(22) Anmeldetag:  22.01.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 23/13, H01L 23/58
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0200/191
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0206/5548 (22.08.2002 Gazette  2002/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 14.02.2001 DE 10106836

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • JANKE, Marcus
    81539 München (DE)
  • LAACKMANN, Peter
    81541 München (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) INTEGRIERTE SCHALTUNGSANORDNUNG AUS EINEM FLÄCHIGEN SUBSTRAT