ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIE......FI....CY..TR............................*XDIM350 (Ver 2.1 Jan 2001) 1100000/0 1710000/01360880A120031112EP01989367.62001120520030902DeDeDe1010461420010202DE20031112200346200311122003467 7H 05H 1/30 A 7H 01J 37/32 BdePLASMAANLAGE UND VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG EINER FUNKTIONSBESCHICHTUNGenPLASMA UNIT AND METHOD FOR GENERATION OF A FUNCTIONAL COATINGfrINSTALLATION AU PLASMA ET PROCEDE DE GENERATION D'UN REVETEMENT FONCTIONNELRobert Bosch GmbH03900890R40098Kutsch/OyPostfach 30 02 2070422 StuttgartDEGROSSE, StefanMeterstrasse 4d70839 GerlingenDEHENKE, SaschaObere Talstr. 5/271263 Weil Der StadtDESPINDLER, SusanneRotebuehlstr. 17070197 StuttgartDEATBECHCYDEDKESFIFRGBGRIEITLILUMCNLPTSETRDE010456420011205DeWO0206211420020808200232