(19)
(11) EP 1 362 372 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
08.05.2003

(43) Veröffentlichungstag:
19.11.2003  Patentblatt  2003/47

(21) Anmeldenummer: 01995590.5

(22) Anmeldetag:  07.12.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/544
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0104/599
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0206/7318 (29.08.2002 Gazette  2002/35)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 23.02.2001 DE 10108915

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • FAZEKAS, Josef
    81476 München (DE)
  • MARTIN, Andreas
    81539 München (DE)
  • VON HAGEN, Jochen
    83059 Kolbermoor (DE)

(74) Vertreter: Karl, Frank 
Patentanwälte Kindermann,Postfach 1330
85627 Grasbrunn
85627 Grasbrunn (DE)

   


(54) ELEKTROMIGRATIONS-TESTSTRUKTUR ZUR ERFASSUNG EINER ZUVERLÄSSIGKEIT VON VERDRAHTUNGEN