HALBLEITEREINRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG - Patent 1362379

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EP 1 362 379 A2

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(88)	Veröffentlichungstag A3:
	03.10.2002

(43)	Veröffentlichungstag:
	19.11.2003 Patentblatt 2003/47

(21)	Anmeldenummer: 01993027.0

(22)	Anmeldetag: 25.10.2001

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: H01L 31/0352, H01L 31/0216, H01L 31/048, H01L 31/042, H01L 31/052, H01L 31/18

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP0112/372

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 0203/7576 (10.05.2002 Gazette 2002/19)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	AL LT LV MK RO SI

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Priorität:

25.10.2000 DE 10052914

(71)	Anmelder: Futech GmbH
	39116 Magdeburg (DE)

(72)	Erfinder:
	Jäger, Steffen, Dr. 38122 Braunschweig (DE)

(74)	Vertreter: Hertz, Oliver, Dr.
	v. Bezold & SozienPatentanwälteAkademiestrasse 7 80799 München 80799 München (DE)

(54)	HALBLEITEREINRICHTUNG UND VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG