(19)
(11) EP 1 364 391 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
26.11.2003  Patentblatt  2003/48

(21) Anmeldenummer: 02714071.4

(22) Anmeldetag:  26.02.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/02
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0200/706
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0206/9378 (06.09.2002 Gazette  2002/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 27.02.2001 DE 10109328

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • DRUMMER, Heike
    01465 Langebrück (DE)
  • KREUPL, Franz
    80469 München (DE)
  • SÄNGER, Annette
    01099 Dresden (DE)
  • ENGELHARDT, Manfred
    83620 Feldkirchen-Westerham (DE)
  • SELL, Bernhard
    01099 Dresden (DE)
  • THIEME, Peter
    01159 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ENTFERNUNG EINER MASKENSCHICHT VON EINEM HALBLEITERSUBSTRAT