(19)
(11) EP 1 364 406 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
22.05.2003

(43) Veröffentlichungstag:
26.11.2003  Patentblatt  2003/48

(21) Anmeldenummer: 02712790.1

(22) Anmeldetag:  20.02.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7H01L 25/07, H01L 25/16
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0200/601
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0206/9404 (06.09.2002 Gazette  2002/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 27.02.2001 DE 10109329

(71) Anmelder: SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • AUERSWALD, Gerd
    90616 Neuhof a.d. Zenn (DE)
  • RAPPL, Hans
    93152 Nittendorf (DE)
  • GROSS, Kurt
    93164 Laaber (DE)
  • KULIG, Stefan
    93057 Regensburg (DE)
  • KIRCHBERGER, Michael
    93073 Neutraubling (DE)

   


(54) SCHALTUNGSANORDNUNG