(19)
(11) EP 1 366 208 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.12.2003  Patentblatt  2003/49

(21) Anmeldenummer: 02710739.0

(22) Anmeldetag:  14.02.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 16/44, C23C 16/02, C23C 16/42, C23C 16/24, C23C 16/513, C23C 14/56
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH0200/090
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0206/8710 (06.09.2002 Gazette  2002/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 26.02.2001 CH 3582001

(71) Anmelder: Unaxis Balzers Aktiengesellschaft
9496 Balzers (LI)

(72) Erfinder:
  • WAGNER, Rudolf
    CH-9476 Fontnas (CH)
  • WILTSCHE, Siegfried
    A-6800 Feldkirch (AT)
  • RAMM, Jürgen
    CH-9475 Sevelen (CH)

(74) Vertreter: Troesch Scheidegger Werner AG 
Schwäntenmos 14
8126 Zumikon
8126 Zumikon (CH)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON TEILEN UND VAKUUMBEHANDLUNGSSYSTEM