[0001] Die Erfindung betrifft elektrische Durchführungen an isolierenden Bestandteilen einer
Druckgefäßwandung, insbesondere für Gehäuse von Drucksensoren und ein Verfahren zu
ihrer Herstellung.
[0002] Im Stand der Technik sind elektrische Durchführungen an isolierenden Bestandteilen
von Gefäßwandungen in verschiedenen Ausführungen bekannt.
[0003] US-A- 4 816 621 beschreibt eine Keramik-Metall-Durchführung mit Goldlot-Verbindung,
die für implantierbare Herz-Schrittmacher bzw. Nerven-Stimulatoren vorgesehen ist,
für Hochdruck-Anwendung jedoch ungeeignet ist.
[0004] Ferner ist in US-A-3 975 579 eine elektrische Durchführung für hohe Druckunterschiede
angegeben, bei der ein Kunstharz-Körper verwendet wird, dessen Kontur eine konische
Fläche besitzt. Für erhöhte Temperaturen ist diese Anordnung nicht einsetzbar.
[0005] Bekannt ist auch die Belotung mit Aktivlot zur Herstellung einer Keramik-Metall-Verbindung.
In verschiedenen Literaturstellen, wie "Herstellung hochtemperaturbeständiger Keramik-Metall-Lötverbindungen
unter Vormetallisierung der Keramik mit Aktivlot" von N. Munasinghe oder in VDI-Fortschrittsberichten,
Reihe 2, Fertigungstechnik, Nr. 382 "Löten von Keramik-Keramik und Keramik-Metall-Verbindungen
'96" und in zahlreichen Forschungsberichten werden Verbindungsmechanismen, Festigkeitsprüfungen
und anwendungsorientierte Modifikationen näher untersucht.
[0006] DE 100 55 910 A1 beschreibt ein Verfahren zur Herstellung einer Keramik-Metall-Verbindung,
wobei eine aktive Lotkomponente auf die Keramik und das zu verbindende Metall auf
die Oberfläche aufgebracht wird. Hier bewirkt ein Stromfluss durch die Übergangsstelle
die gewünschte Verbindung.
[0007] Weiter ist in JP 59 078 983 "Ceramic and metal joint mechanism" eine konische Rotor-Schaft-Verbindung
beschrieben.
[0008] Bei den bekannten Verfahren und Anordnungen ist nachteilig, dass an den elektrischen
Durchführungen, insbesondere an Druckglasdurchführungen für Drucksensoren, unter der
Wirkung des Betriebsdruckes auf die Bestandteile der Druckgefäße ihre Festigkeit nachlässt
und dadurch ihre Druckbeständigkeit beschränkt wird.
[0009] Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und eine Vorrichtung der
eingangs genannten Art anzugeben, bei dem eine erhöhte Druckbeständigkeit gewährleistet
wird und nur ein geringer Abfall bei Temperaturerhöhung auftritt.
[0010] Erfindungsgemäß wird die Aufgabe mit Verfahren, welche die in Anspruch 7 und 8 angegebenen
Merkmale und mit einer Anordnung, welche die in Anspruch 1 angegebenen Merkmale enthält,
gelöst.
[0011] Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen angegeben.
[0012] Es konnte bei Untersuchungen an hochdruckfesten Durchführungen nachgewiesen werden,
dass ein kegelstumpfförmiger Isolierkörper, der in einer konischen Aufnahme unter
hoher radialer Druckspannung sitzt, hohen pneumatischen oder hydraulischen Arbeitsdrücken
auf seine Grundfläche widersteht. Eine hohe Material-Druckfestigkeit (ab 200 MPa)
des Isolierkörpers gewährleistet dabei die Druckbeständigkeit der Durchführung. Die
Beständigkeit haftfest in den Isolierkörper eingebrachter Durchführungsleiter gegenüber
thermischen und mechanischen Lastwechseln wird durch Einsatz von Material mit hohem
Elastizitätsmodul, der deutlich über den von Metallen liegt und größer als 250 GPa
ist, erreicht.
Besonders vorteilhaft ist es, Isolierkörper aus hochfester Al
2O
3-Keramik zu verwenden, der die vorgenannten Materialeigenschaften erfüllt, einen halben
Konuswinkel von 2 - 4° aufweist und in dem Durchführungsleiter mit Hartlot befestigt
sind. Die erforderliche radiale Druckspannung kann durch Aufschrumpfen erreicht werden,
indem eine konische Aufnahme aus hochfestem Stahl um 200 bis 300 K gegenüber Umgebungstemperatur
vorgewärmt und der auf Umgebungstemperatur verbliebene Isolierkörper unter leichtem
Druck in die konische Aufnahme eingesetzt wird. Nach dem Temperaturausgleich steht
der Isolierkörper unter radialer Druckspannung, die sich infolge der Wirkung des Konuswinkels
bei Anliegen des Arbeitsdruckes noch verstärkt. Damit ergibt sich zwischen dem Isolierkörper
und der konischen Aufnahme eine hermetische Verbindung, die auch bei erhöhten Temperaturen
hohen Arbeitsdrücken Stand hält. Dabei ist es vorteilhaft, das Hartlot zur Befestigung
von Durchführungsleitern in den Durchgangslöchern des keramischen Isolierkörpers mit
einem Titangehalt von 3-12% zu versehen und Al
2O
3-Keramik zu verwenden, die eine Glasphase von ca. 0,5% besitzt.
[0013] Eine vorteilhafte Ausführung der erfindungsgemäßen Anordnung entsteht dadurch, dass
beim Einlöten von Durchführungsleitern, insbesondere von Durchführungsdrähten mit
einem Durchmesser von maximal 0,8 mm, der keramische Isolierkörper mit abgesetzten
Durchgangslöchern versehen ist, wobei der größere Durchmesser der Durchgangslöcher
auf der Hochdruckseite angeordnet ist, und die Durchführungsdrähte ein verstärktes
Mittelteil besitzen, wobei dieses Mittelteil nach dem Einlöten auf der Stufe des abgesetzten
Durchgangsloches aufsitzt.
[0014] Eine weitere geeignete Anordnung bei der Befestigung von Durchführungsleitern , die
besonders für Durchführungsstifte mit einem Durchmesser von mindestens 1,0 mm vorteilhaft
ist, weist in konischen Durchgangslöchern des Isolierkörpers Durchgangslöcher auf,
die einen halben Konuswinkel von 4 - 8° besitzen. Der Konuswinkel öffnet sich dabei
nach der Hochdruckseite hin. In diesem Konus sind Durchführungsstifte mit ebenfalls
konischem Mittelteil haftfest angeordnet, deren Konuswinkel gleich oder um 0,5 - 1°
kleiner als der Konuswinkel der Durchgangslöcher ist. Das Einbringen der Durchführungsstifte
erfolgt dabei dadurch, dass die auf Umgebungstemperatur verbliebenen Durchführungsstifte
in die konischen Durchgangslöcher zu einem Zeitpunkt eingesetzt werden, zu dem der
Isolierkörper sich im wesentlichen der Temperatur der konischen Aufnahme aber noch
nicht der Umgebungstemperatur angenähert hat.
[0015] Vorteilhaft für die hermetische Verbindung des keramischen Isolierkörpers mit seinen
innen und außen angeordneten Metallpartnern, also den Durchführungsstiften bzw. der
konischen Aufnahme, ist es, insbesondere bei keramischen Isolierkörpern mit ungeschliffenen
Konusflächen, die Durchführungsstifte mindestens auf ihrem Mittelteil und/oder die
Druckgefäßwandung mindestens in ihrer konischen Aufnahme mit einer duktilen metallischen
Beschichtung zu versehen. Hierzu kann beispielsweise eine galvanisch aufgebrachte
Kupferschicht von 5 - 20µm, die durch Glühen bei 950 - 1000°C homogenisiert wurde,
eingesetzt werden.
[0016] Die Erfindung wird im Folgenden anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert.
[0017] In den zugehörigen Zeichnungen zeigen:
- Figur 1
- einen Schnitt durch eine Anordnung, bei der ein konischer Isolierkörper in einer konischen
Aufnahme sitzt,
- Figur 2
- einen Schnitt durch den konischen Isolierkörper, der konische und abgesetzte Durchgangslöcher
aufweist,
und
- Figur 3
- einen Schnitt einer Durchführung mit duktilen metallischen Beschichtungen.
[0018] In
Figur 1 ist ein Schnitt durch eine Durchführungsanordnung dargestellt. Bei dieser Anordnung
befindet sich in einer Druckgefäßwandung 3 eine konischen Aufnahme 4 aus Edelstahl.
Die Aufnahme 4 hat im dargestellten Beispiel einen Außendurchmesser von 16 mm. In
dieser befindet sich ein konischer Isolierkörper 1 aus hochfester Al
2O
3-Keramik mit einer Höhe von 5 mm, einem mittleren Durchmesser von 8 mm und einem halben
Konuswinkel von 3°, in dem ein Durchführungsleiter 2 hart eingelötet ist. Die Aufnahme
4 ist nach Vorwärmung auf 300°C auf den Isolierkörper 1 aufgeschrumpft. Es konnte
experimentell nachgewiesen werden, dass die so hergestellte Durchführung eine Druckbeständigkeit
von mehr als 4000 bar bei einer Temperatur von 400 °C auf weist.
[0019] Figur 2 erläutert verschiedene Befestigungsmöglichkeiten für die Anordnung des Durchführungsleiters
2 im konischen Isolierkörper 1.
In der links dargestellten Anordnung ist im konischen Isolierkörper 1 ein konisches
Durchgangsloch 5 mit einem halben Konuswinkel von 5° angebracht. In diesem befindet
sich ein durch Aufschrumpfen befestigter Durchführungsstift 6 mit konischem Mittelteil
7, das einen mittleren Durchmesser von 1,2 mm und einem halben Konuswinkel von 4,5°
aufweist.
[0020] Bei der rechts dargestellten Anordnung ist der konische Isolierkörper 1 mit einem
abgesetzten Durchgangsloch 9 versehen, in dem ein Durchführungsstift 10 mit verstärktem
Mittelteil 11 eingebracht ist. Das Durchgangsloch 9 ist mit einem Durchmesser von
0,5 mm ausgeführt und mit einem Absatz von Durchmesser 1,0 mm und einer Höhe von 1,5
mm versehen. Die Durchführungsdrähte 10 weisen einen Durchmesser von 0,45 mm auf und
sind mit einem verstärktem Mittelteil 11 mit einem Durchmesser von 0,8 mm und einer
Höhe von 0,3 mm versehen. Sie sind mit einem Kupfersilberlot, das einen 10%-igen Titananteil
besitzt, im Isolierkörper 1 hart eingelötet.
[0021] Die in
Figur 3 gezeigte Schnittdarstellung zeigt einen Ausschnitt aus einer Druckgefäßwandung 3
mit konischer Aufnahme 4. In der Aufnahme 4 befindet sich der im Halbschnitt dargestellte
konische Isolierkörper 1, der wiederum mit einem konischem Durchgangsloch versehen
ist, in dem sich der mit einem konischem Mittelteil 7 versehene Durchgangsstift 6
befestigt ist. Bei dieser Ausführung sind sowohl die Außenfläche des konischen Mittelteiles
7 des Durchführungsstiftes 6 als auch die Innenfläche der konischen Aufnahme 4 der
Druckgefäßwandung 3 mit duktilen metallischen Beschichtungen 8 versehen. Als duktile
metallische Beschichtung 8 ist hier eine galvanisch aufgebrachte und homogenisierte
Kupferschicht von ca. 10µm Stärke aufgebracht. Der konische Isolierkörper 1 ist über
die duktilen metallischen Beschichtungen 8 mit der Gefäßwandung 3 bzw. den Durchführungsstiften
6 durch Aufschrumpfen verbunden. Die Anordnung bildet so eine hermetische, druckund
temperaturbeständige Durchführung.
BEZUGSZEICHENLISTE
[0022]
- 1
- konischer Isolierkörper
- 2
- Durchführungsleiter
- 3
- Druckgefäßwandung
- 4
- konische Aufnahme
- 5
- konisches Durchgangsloch
- 6
- Durchführungsstift
- 7
- konisches Mittelteil
- 8
- duktile metallische Beschichtung
- 9
- abgesetztes Durchgangsloch
- 10
- Durchführungsdraht
- 11
- verstärktes Mittelteil
- α
- Konuswinkel
1. Elektrische Durchführung an isolierenden Bestandteilen einer Druckgefäßwandung (3),
insbesondere für Gehäuse von Drucksensoren, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckgefäßwandung (3) eine konische Aufnahme (4) aufweist, in die ein außen konischer
Isolierkörper (1), in dem ein oder mehrere elektrisch leitende Durchführungsleiter
(2) fest angeordnet sind, eingesetzt ist; wobei die Konuswinkel der Aufnahme (4) und
des Isolierkörpers (1) sich nach der zur Hochdruckseite hin öffnen.
2. Durchführung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass der konische Isolierkörper (1) aus hochfester Al2O3-Keramik besteht, einen halben Konuswinkel von 2 - 4° aufweist und die Durchführungen
(2) mit Hartlot im Isolierkörper (1) befestigt sind.
3. Durchführung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die hochfeste Al2O3-Keramik des Isolierkörpers (1) eine Glasphase von ca. 0,5% besitzt und das Hartlot
zur Befestigung der Durchführungen (2) einen Bestandteil von 8-12 Gewichts- % an Titan
enthält.
4. Durchführung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Isolierkörper (1) aus hochfester Al2O3-Keramik konische Durchgangslöcher (5) mit einem halben Konuswinkel von 4 - 8°, der
sich nach der Hochdruckseite hin öffnet, und in den Durchgangslöchern (5) Durchführungsstifte
(6), die ein konisches Mittelteil (7) aufweisen, dessen Konuswinkel gleich dem oder
um 0,5 - 1° kleiner als der Konuswinkel der Durchgangslöcher (5) ist, haftfest angeordnet
sind.
5. Durchführung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, dass die Durchführungsstifte (6) mindestens auf Ihrem Mittelteil und/oder die Druckgefäßwandung
(3) mindestens in ihrer konischen Aufnahme (4) eine duktile metallische Beschichtung
(8) aufweisen.
6. Durchführung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass in dem Isolierkörper (1) aus hochfester Al2O3-Keramik abgesetzte Durchgangslöcher (9) mit einem größeren Durchmesser auf der Hochdruckseite,
und in diesen Durchgangslöchern (9) Durchgangsdrähte (10) mit einem verstärktem Mittelteil
(11) haftfest angeordnet sind.
7. Verfahren zur Herstellung einer Durchführung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Druckgefäßwandung (3) zunächst um 200 bis 300 K gegenüber Umgebungstemperatur
aufgeheizt und danach der Isolierkörper (1) in die Druckgefäßwandung (3) unter leichten
Druck eingesetzt und nach Durchwärmung des Isolierkörpers (1) die Durchführungsstifte
(6) in diesen eingepresst werden.
8. Verfahren zur Herstellung einer Durchführung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, dass für die Durchführungsstifte (6) und/oder die Druckgefäßwandung (3), eine metallischen
Beschichtung (8) galvanisch aufgetragen wird, und danach die beschichteten Durchführungsstifte
(6) und/oder die Druckgefäßwandung (3) durch Glühen unter Wasserstoff bei einer Temperatur,
die um 50 - 100 K unter dem Schmelzpunkt der Beschichtung liegt, homogenisiert werden.