(19)
(11) EP 1 370 835 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
31.10.2002

(43) Veröffentlichungstag:
17.12.2003  Patentblatt  2003/51

(21) Anmeldenummer: 02727222.8

(22) Anmeldetag:  13.03.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01F 1/684
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0200/894
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0207/3140 (19.09.2002 Gazette  2002/38)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 13.03.2001 DE 10111840

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • HECHT, Hans
    70825 Korntal-Münchingen (DE)
  • KONZELMANN, Uwe
    71679 Asperg (DE)
  • SCHULZ, Torsten
    70771 Leinfelden-Echterdingen (DE)

   


(54) SENSORCHIP MIT ZUSATZHEIZER BZW. VERFAHREN ZUR VERMEIDUNG VON VERSCHMUTZUNGEN AUF EINEM SENSORCHIP BZW. VERWENDUNG EINES ZUSATZHEIZERS AUF EINEM SENSORCHIP