(19)
(11) EP 1 370 854 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.12.2003  Patentblatt  2003/51

(21) Anmeldenummer: 02729793.6

(22) Anmeldetag:  15.03.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G01N 27/00, G01N 27/02, G01N 27/22
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE0200/944
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 0207/5296 (26.09.2002 Gazette  2002/39)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 19.03.2001 DE 10113254

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BREDERLOW, Ralf
    81737 München (DE)
  • THEWES, Roland
    82194 Gröbenzell (DE)

(74) Vertreter: Dokter, Eric-Michael 
Anwaltskanzlei,Viering, Jentschura & Partner,Steinsdorfstrasse 6
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) MIKROMECHANIK-SENSORELEMENT, ELEKTRISCHE SCHALTUNGSANORDNUNG UND SENSORARRAY MIT EINER MEHRZAHL VON MIKROMECHANIK-SENSORELEMENTEN