VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG FERROELEKTRISCHER SPEICHERZELLEN - Patent 1371093

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EP 1 371 093 A2

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(88)	Veröffentlichungstag A3:
	13.03.2003

(43)	Veröffentlichungstag:
	17.12.2003 Patentblatt 2003/51

(21)	Anmeldenummer: 02727262.4

(22)	Anmeldetag: 22.03.2002

(51)	Internationale Patentklassifikation (IPC)⁷: H01L 21/8246, H01L 21/02

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/DE0201/054

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 0207/8084 (03.10.2002 Gazette 2002/40)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	DE FR GB IE IT NL

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Priorität:

23.03.2001 DE 10114406

(71)	Anmelder: Infineon Technologies AG
	81669 München (DE)

(72)	Erfinder:
	KASKO, Igor 81543 München (DE) KROENKE, Matthias 01099 Dresden (DE)

(74)	Vertreter: Kottmann, Heinz Dieter, Dipl.-Ing.
	PatentanwälteMÜLLER & HOFFMANN,Innere Wiener Strasse 17 81667 München 81667 München (DE)

(54)	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG FERROELEKTRISCHER SPEICHERZELLEN