(19)

(11)

EP 1 371 099 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 30.05.2003 (43) Veröffentlichungstag: 17.12.2003  Patentblatt  2003/51 (21) Anmeldenummer: 02753697.8 (22) Anmeldetag:  21.03.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 41/04, F02D 41/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE0201/029 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 0207/8098 (03.10.2002 Gazette  2002/40)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 21.03.2001 DE 10113802 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: CHEMISKY, Eric F-67630 Lauterbourg (FR) SCHROD, Walter 93057 Regensburg (DE)