(19)
(11) EP 1 373 129 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
02.10.2003

(43) Veröffentlichungstag:
02.01.2004  Patentblatt  2004/01

(21) Anmeldenummer: 02729780.3

(22) Anmeldetag:  13.03.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: B81C 1/00, B81B 3/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/000883
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/076880 (03.10.2002 Gazette  2002/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 22.03.2001 DE 10114036

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • BENZEL, Hubert
    72124 Pliezhausen (DE)
  • WEBER, Heribert
    72622 Nuertingen (DE)
  • ARTMANN, Hans
    71106 Magstadt (DE)
  • SCHAEFER, Frank
    72070 Tuebingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON MIKROMECHANISCHEN SENSOREN UND DAMIT HERGESTELLTE SENSOREN