(19)
(11) EP 1 373 165 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
09.10.2003

(43) Veröffentlichungstag:
02.01.2004  Patentblatt  2004/01

(21) Anmeldenummer: 02724123.1

(22) Anmeldetag:  27.03.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C04B 41/80, B82B 1/00, C30B 31/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/001146
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/076910 (03.10.2002 Gazette  2002/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 27.03.2001 DE 10115971

(71) Anmelder: Hahn-Meitner-Institut Berlin GmbH
14109 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • DLOCZIK, Larissa
    14471 Potsdam (DE)
  • KÖNENKAMP, Rolf
    10828 Berlin (DE)
  • ENGELHARD, Rolf
    10711 Berlin (DE)
  • ERNST, Katja
    10627 Berlin (DE)
  • LUX-STEINER, Martha, Christina
    14163 Berlin (DE)

(74) Vertreter: Hoffmann, Heinz-Dietrich 
Gemeinsamer Patentservice,Hausvogteiplatz 5-7
10117 Berlin
10117 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON METALLOXIDEN UND METALLCHALKOGENIDEN MIT EINER DEFINIERTEN MIKROSTRUKTURIERUNG