(19)
(11) EP 1 373 593 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
30.10.2003

(43) Veröffentlichungstag:
02.01.2004  Patentblatt  2004/01

(21) Anmeldenummer: 02711763.9

(22) Anmeldetag:  09.01.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 10/06, C23C 10/14, C23C 10/16, C23C 10/02, C23C 10/12
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/000030
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/055754 (18.07.2002 Gazette  2002/29)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 11.01.2001 DE 10101070

(71) Anmelder: MTU Aero Engines GmbH
80995 München (DE)

(72) Erfinder:
  • DAUTL, Thomas
    85295 Weichs (DE)
  • NIEDERMEIER, Markus
    80469 München (DE)
  • PILLHÖFER, Horst
    85244 Röhrmoos (DE)

(74) Vertreter: Zacharias, Frank L. 
DaimlerChrysler AGIntellectual Property ManagementHPC: C106
70546 Stuttgart
70546 Stuttgart (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM GASPHASENDIFFUSIONSBESCHICHTEN VON METALLISCHEN BAUTEILEN