(19)
(11) EP 1 373 604 A1

(12)

(43) Date de publication:
02.01.2004  Bulletin  2004/01

(21) Numéro de dépôt: 02730343.7

(22) Date de dépôt:  04.04.2002
(51) Int. Cl.7C30B 23/06, C23C 14/24
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2002/001180
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2002/081787 (17.10.2002 Gazette  2002/42)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Etats d'extension désignés:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorité: 04.04.2001 FR 0104581

(71) Demandeur: Addon
78420 Carrières-sur-Seine (FR)

(72) Inventeurs:
  • GRANGE, Olivier
    F-92210 Saint-Cloud (FR)
  • BOUCHA B, Pierre
    F-78420 Carrières-sur-Seine (FR)

(74) Mandataire: Breese, Pierre 
3, avenue de l'Opéra
75001 Paris
75001 Paris (FR)

   


(54) RESERVOIR POUR INSTALLATION D'EPITAXIE ET INSTALLATION COMPRENANT UN TEL RESERVOIR