(19)

(11)

EP 1 373 960 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 02.01.2004  Patentblatt  2004/01 (21) Anmeldenummer: 02722224.9 (22) Anmeldetag:  15.03.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G02B 21/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/002881 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2002/075423 (26.09.2002 Gazette  2002/39)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 17.03.2001 DE 10112947 (71) Anmelder: Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH 07745 Jena (DE)	(72) Erfinder: ENGEL, Thomas 99102 Erfurt OT Niedernissa (DE) HERBIG, Volker 99099 Erfurt (DE)