| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK RO SI |
| (30) |
Priorität: |
28.09.2001 DE 10148162
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| (71) |
Anmelder: Carl Zeiss Microelectronic Systems GmbH |
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07745 Jena (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- BURKHARDT, Matthias
07768 Eichenberg (DE)
- MENCK, Alexander
07745 Jena (DE)
- BISCHOFF, Jörg
98693 Ilmenau (DE)
- STEINER, Reinhard
07646 Stadtroda (DE)
- ERDMANN, Lars
D-99880 Hörstelgau (DE)
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| (74) |
Vertreter: Grimm, Christian Jan Rainer et al |
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Geyer, Fehners & Partner,Patentanwälte,Perhamerstrasse 31
80687 München
80687 München (DE) |
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