(19)

(11)

EP 1 374 284 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 21.11.2002 (43) Veröffentlichungstag: 02.01.2004  Patentblatt  2004/01 (21) Anmeldenummer: 02727200.4 (22) Anmeldetag:  08.03.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2002/000841 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2002/078163 (03.10.2002 Gazette  2002/40)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR Benannte Erstreckungsstaaten: AL LT LV MK RO SI (30) Priorität: 26.03.2001 DE 10114717 (71) Anmelder: Sillner, Georg D-93197 Zeitlarn (DE)	(72) Erfinder: Sillner, Georg D-93197 Zeitlarn (DE) (74) Vertreter: Graf, Helmut, Dipl.-Ing. et al PatentanwaltPostfach 10 08 26 93008 Regensburg 93008 Regensburg (DE)