(19)
(11) EP 1 374 295 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
02.10.2003

(43) Veröffentlichungstag:
02.01.2004  Patentblatt  2004/01

(21) Anmeldenummer: 02753718.2

(22) Anmeldetag:  25.03.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/48, H01L 23/538, H01L 23/544
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/003326
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/078076 (03.10.2002 Gazette  2002/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 26.03.2001 DE 10114767

(71) Anmelder: Micronas GmbH
79108 Freiburg (DE)

(72) Erfinder:
  • WAGNER, Eckart
    79275 Vörstetten (DE)
  • WINTERER, Martin
    79194 Gundelfingen (DE)

(74) Vertreter: Patentanwälte Westphal, Mussgnug & Partner 
Am Riettor 5
78048 Villingen-Schwenningen
78048 Villingen-Schwenningen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR REALISIERUNG VON VERDRAHTUNGSOPTIONEN BEI EINEM INTEGRIERTEN SCHALTKREIS UND INTERGRIERTER SCHALTKREIS