| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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AL LT LV MK RO SI |
| (30) |
Priorität: |
03.04.2001 DE 10117833
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| (71) |
Anmelder: INSTITUT FÜR MIKROELEKTRONIK STUTTGART |
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70569 Stuttgart (DE) |
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| (72) |
Erfinder: |
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- HÖFFLINGER, Bernd
71063 Sindelfingen (DE)
- SCHERJON, Cornelis
70839 Gerlingen (DE)
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| (74) |
Vertreter: Duhme, Torsten et al |
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Witte, Weller & Partner,Patentanwälte,Postfach 10 54 62 70047 Stuttgart 70047 Stuttgart (DE) |
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