(19)
(11) EP 1 377 752 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
12.12.2002

(43) Veröffentlichungstag:
07.01.2004  Patentblatt  2004/02

(21) Anmeldenummer: 02727419.0

(22) Anmeldetag:  15.03.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: F04D 19/04
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/002884
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/077462 (03.10.2002 Gazette  2002/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 27.03.2001 DE 10114969

(71) Anmelder: Leybold Vakuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • BLUMENTHAL, Roland
    50374 Erftstadt (DE)
  • ODENDAHL, Heinz-Dieter
    51061 Köln (DE)
  • BOHRY, Dieter
    50677 Köln (DE)

(74) Vertreter: Selting, Günther, Dipl.-Ing. et al
Patentanwältevon Kreisler, Selting, WernerPostfach 10 22 41
50462 Köln
50462 Köln (DE)

   


(54) TURBOMOLEKULARPUMPE