(19)

(11)

EP 1 378 017 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 07.01.2004  Patentblatt  2004/02 (21) Anmeldenummer: 02740249.4 (22) Anmeldetag:  11.04.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 51/20 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2002/001362 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2002/084757 (24.10.2002 Gazette  2002/43)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 12.04.2001 DE 10118405 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: HOFMANN, Franz 80995 München (DE) LUYKEN, Richard, Johannes 81825 München (DE) ROESNER, Wolfgang 85521 Ottobrunn (DE) SCHULZ, Thomas 81737 München (DE) (74) Vertreter: Viering, Jentschura & Partner  Postfach 22 14 43 80504 München 80504 München (DE)