(19)
(11) EP 1 379 708 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
13.03.2003

(43) Veröffentlichungstag:
14.01.2004  Patentblatt  2004/03

(21) Anmeldenummer: 02740417.7

(22) Anmeldetag:  04.03.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7C23C 4/10
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/002323
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/079535 (10.10.2002 Gazette  2002/41)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 05.03.2001 DE 10110448

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung derangewandten Forschung e.V.
80686 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BERGER, Lutz-Michael
    01189 Dresden Dresden (DE)
  • THIELE, Sven
    09599 Freiberg (DE)
  • NEBELUNG, Manfred
    01309 Dresden (DE)

   


(54) BESCHICHTUNGSPULVER AUF DER BASIS VON CHEMISCH MODIFIZIERTEN TITANSUBOXIDEN