(19)
(11) EP 1 380 055 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
14.01.2004  Patentblatt  2004/03

(21) Anmeldenummer: 02735015.6

(22) Anmeldetag:  26.03.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/739, H01L 21/331
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/001099
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/082552 (17.10.2002 Gazette  2002/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 07.04.2001 DE 10117483

(71) Anmelder: ROBERT BOSCH GMBH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • FLOHRS, Peter
    71770 Reutlingen (DE)
  • PLIKAT, Robert
    71665 Vaihingen (DE)
  • FEILER, Wolfgang
    72766 Reutlingen (DE)

   


(54) HALBLEITERLEISTUNGSBAUELEMENT UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN