(19)
(11) EP 1 381 561 A1

(12)

(43) Date de publication:
21.01.2004  Bulletin  2004/04

(21) Numéro de dépôt: 02727669.0

(22) Date de dépôt:  17.04.2002
(51) Int. Cl.7: B82B 1/00, H01L 51/20, C30B 33/00
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2002/001326
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2002/085778 (31.10.2002 Gazette  2002/44)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorité: 19.04.2001 FR 0105314

(71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
75752 Paris Cédex 15 (FR)

(72) Inventeurs:
  • D'ANGELO, Marie
    F-75014 Paris (FR)
  • ARISTOV, Victor
    F-91400 Orsay (FR)
  • DERYCKE, Vincent
    Ossining, NY 10562 (US)
  • SEMOND, Fabrice
    F-06250 MOUGINS LE HAUT (FR)
  • SOUKIASSIAN, Patrick
    F-78470 SAINT REMY LES CHEVREUSE (FR)

(74) Mandataire: Poulin, Gérard et al
Société BREVATOME3, rue du Docteur Lancereaux
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) PROCEDE DE FABRICATION DE NANOSTRUCTURES UNIDIMENSIONNELLES ET NANOSTRUCTURES OBTENUES PAR CE PROCEDE