(19)
(11) EP 1 381 901 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.01.2004  Patentblatt  2004/04

(21) Anmeldenummer: 02706779.2

(22) Anmeldetag:  22.03.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G02B 21/16, G02B 1/11
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/003217
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/086579 (31.10.2002 Gazette  2002/44)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 23.04.2001 DE 10119909

(71) Anmelder: Leica Microsystems Semiconductor GmbH
35578 Wetzlar (DE)

(72) Erfinder:
  • EISENKRÄMER, Frank
    35444 Biebertal (DE)

(74) Vertreter: Reichert, Werner F., Dr. 
Leica Microsystems AG,Konzernstelle Patente + Marken,Ernst-Leitz-Strasse 17-37
35578 Wetzlar
35578 Wetzlar (DE)

   


(54) INSPEKTIONSMIKROSKOP FÜR MEHRERE WELLENLÄNGENBEREICHE UND REFLEXIONSMINDERUNGSSCHICHT FÜR EIN INSPEKTIONSMIKROSKOP FÜR MEHRERE WELLENLÄNGENBEREICHE