(19)

(11)

EP 1 382 063 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 21.01.2004  Patentblatt  2004/04 (21) Anmeldenummer: 02764065.5 (22) Anmeldetag:  19.04.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/316 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/004345 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2002/086958 (31.10.2002 Gazette  2002/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 23.04.2001 DE 10119741 (71) Anmelder: Mattson Thermal Products GmbH 89160 Dornstadt (DE)	(72) Erfinder: ROTERS, Georg 48249 Dülmen (DE) MADER, Roland 87452 Altusried (DE) SOMMER, Helmut 73326 Deggingen (DE) ERLIKH, Genrih Daly City, CA 94015 (US) PASHUT, Yehuda San Jose, CA 95129 (US) (74) Vertreter: Wagner & Geyer  Gewürzmühlstrasse 5 D-80538 München D-80538 München (DE)