(19)
(11) EP 1 382 068 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
25.09.2003

(43) Veröffentlichungstag:
21.01.2004  Patentblatt  2004/04

(21) Anmeldenummer: 02740484.7

(22) Anmeldetag:  18.04.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 23/00
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/004308
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/086967 (31.10.2002 Gazette  2002/44)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 24.04.2001 DE 10119873

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • STAUB, Ralf
    01109 Dresden (DE)
  • AMON, Jürgen
    01109 Dresden (DE)
  • URBANSKY, Norbert
    01159 Dresden (DE)

(74) Vertreter: Patentanwaltskanzlei WILHELM & BECK 
Nymphenburger Strasse 139
80636 München
80636 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON METALLISCHEN BITLEITUNGSKONTAKTEN