(19)
(11) EP 1 382 070 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
06.02.2003

(43) Veröffentlichungstag:
21.01.2004  Patentblatt  2004/04

(21) Anmeldenummer: 02724125.6

(22) Anmeldetag:  03.04.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 27/08, H01L 29/93
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/001206
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/082548 (17.10.2002 Gazette  2002/42)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 03.04.2001 DE 10116557

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • MAGET, Judith
    82024 Taufkirchen (DE)
  • TIEBOUT, Marc
    81739 München (DE)

(74) Vertreter: Epping Hermann & Fischer 
Ridlerstrasse 55
80339 München
80339 München (DE)

   


(54) INTEGRIERTE, ABSTIMMBARE KAPAZITÄT