(19)
(11) EP 1 382 230 A1

(12)

(43) Date de publication:
21.01.2004  Bulletin  2004/04

(21) Numéro de dépôt: 02738200.1

(22) Date de dépôt:  16.04.2002
(51) Int. Cl.7: H05G 2/00
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2002/001306
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2002/085080 (24.10.2002 Gazette  2002/43)
(84) Etats contractants désignés:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Etats d'extension désignés:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorité: 18.04.2001 FR 0105241

(71) Demandeur: COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
75752 Paris Cédex 15 (FR)

(72) Inventeurs:
  • SCHMIDT, Martin
    F-92170 Vanves (FR)
  • SUBLEMONTIER, Olivier
    F-92260 Fontenay Aux Roses (FR)
  • CECCOTTI, Tiberio
    F-75013 Paris (FR)
  • SEGERS, Marc
    F-91940 Les Ulis (FR)

(74) Mandataire: Poulin, Gérard 
Société BREVATOME3, rue du Docteur Lancereaux
75008 Paris
75008 Paris (FR)

   


(54) PROCEDE ET DISPOSITIF DE GENERATION DE LUMIERE DANS L'EXTREME ULTRAVIOLET NOTAMMENT POUR LA LITHOGRAPHIE