(19)
(11) EP 1 382 720 A3

(12) EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNG

(88) Veröffentlichungstag A3:
07.12.2005  Patentblatt  2005/49

(43) Veröffentlichungstag A2:
21.01.2004  Patentblatt  2004/04

(21) Anmeldenummer: 03012313.7

(22) Anmeldetag:  28.05.2003
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: C23C 24/04, B05B 7/14
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HU IE IT LI LU MC NL PT RO SE SI SK TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK

(30) Priorität: 04.06.2002 DE 10224780

(71) Anmelder: Linde Aktiengesellschaft
65189 Wiesbaden (DE)

(72) Erfinder:
  • Heinrich, Peter
    82110 Germering (DE)
  • Kreye, Heinrich, Prof. Dr.
    22175 Hamburg (DE)
  • Muehlberger, Erich
    San Clemente,CA 92673 (US)

(74) Vertreter: Kasseckert, Rainer 
Linde Aktiengesellschaft, Zentrale Patentabteilung Dr.-Carl-von-Linde-Strasse 6-14
82049 Höllriegelskreuth
82049 Höllriegelskreuth (DE)

   


(54) Verfahren und Vorrichtung zum Kaltgasspritzen


(57) Erfindungsgemäß wird der Kaltgasspritzprozess in einer Vakuumkammer bei einem Druck, der unterhalb von 800 mbar(80 kPa) liegt, ausgeführt. Dazu befindet sich die Kaltgasspritzpistole (3) sowie das Werkstück (5) in einer Vakuumkammer (4). Dies ermöglicht den Einsatz von optimal wirkenden Trägergasen wie beispielsweise Helium oder heliumhaltigen Mischungen.






Recherchenbericht