(57) Eine Gasdurchflussregeleinrichtung weist einen Gaseinlass 1, einen Gasauslass 10,
eine Hilfskammer 11 mit einer Trennwand zu dem Gaseinlass 1 auf. Durch einen Differenzdruck
zwischen dem Einlass 1 und der Zwischenkammer 11 ist eine Ventilanordnung 4, 5, 6;
4', 5', 6' über eine Membran an der Trennwand betätigbar, um eine Strömung von dem
Gaseinlass 1 zu dem Gasauslass 10 einzustellen. Erfindungsgemäß ist eine Servopumpe
2 an der Trennwand vorgesehen, die den Differenzdruck durch Pumpen des Gases von der
Zwischenkammer 11, 11' zu dem Gaseinlass 1 bewirkt,
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