ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHU..SK................JDIM350 (Ver 2.1 Jan 2001) 1990980/0 1620000/01382908EUROPÄISCHE PATENTANMELDUNGA320050413EP03016213.52003071720041130DeDeDe1023265420020718DE20050413200515200401212004047 7F 23N 1/00 A 7F 16K 31/385 B 7G 05D 16/06 BdeGasdurchflussregeleinrichtungenGas flow rate control devicefrDispositif de commande de débit d'un gaz1HONEYWELL B.V.00256173EP 38362Phileas Foggstraat 77821 AJ EmmenNLBaarda, Gerrit JanGrijskopspecht 127827 RE EmmenNLLeson, Thomas Johannes Alois, Dipl.-Ing.00078982Tiedtke-Bühling-Kinne & Partner GbR, TBK-Patent, Bavariaring 480336 MünchenDEATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHUIEITLILUMCNLPTROSESISKTRALLTLVMK20050413200515

Eine Gasdurchflussregeleinrichtung weist einen Gaseinlass 1, einen Gasauslass 10, eine Hilfskammer 11 mit einer Trennwand zu dem Gaseinlass 1 auf. Durch einen Differenzdruck zwischen dem Einlass 1 und der Zwischenkammer 11 ist eine Ventilanordnung 4, 5, 6; 4', 5', 6' über eine Membran an der Trennwand betätigbar, um eine Strömung von dem Gaseinlass 1 zu dem Gasauslass 10 einzustellen. Erfindungsgemäß ist eine Servopumpe 2 an der Trennwand vorgesehen, die den Differenzdruck durch Pumpen des Gases von der Zwischenkammer 11, 11' zu dem Gaseinlass 1 bewirkt,