(19)

(11)

EP 1 386 342 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 20.03.2003 (43) Veröffentlichungstag: 04.02.2004  Patentblatt  2004/06 (21) Anmeldenummer: 02724193.4 (22) Anmeldetag:  04.03.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 37/147, H01J 37/153 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2002/002324 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2002/093610 (21.11.2002 Gazette  2002/47)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 11.05.2001 DE 10122957 (71) Anmelder: AKT Electron Beam Technology GMBH 85622 Feldkirchen (DE)	(72) Erfinder: BRUNNER, Matthias 85551 Kirchheim-Heimstetten (DE) SCHMID, Ralf 85586 Poing (DE) (74) Vertreter: Zimmermann, Gerd Heinrich et al Zimmermann & Partner,Postfach 33 09 20 80069 München 80069 München (DE)