(19)
(11) EP 1 388 161 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
13.02.2003

(43) Veröffentlichungstag:
11.02.2004  Patentblatt  2004/07

(21) Anmeldenummer: 02737877.7

(22) Anmeldetag:  05.03.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01J 37/32
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/002397
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/092871 (21.11.2002 Gazette  2002/47)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 15.05.2001 DE 10123583

(71) Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zurFörderung der angewandten Forschung e.V.
80636 München (DE)

(72) Erfinder:
  • JUNG, Thomas
    38173 Hötzum (DE)

(74) Vertreter: Pfenning, Meinig & Partner 
Mozartstrasse 17
80336 München
80336 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG UND/ODER OBERFLÄCHENBEHANDLUNG VON SUBSTRATEN MITTELS NIEDERDRUCK-PLASMA