DISPOSITIF DE CHARGEMENT ET DE DECHARGEMENT DE PLAQUETTES DE SILICIUM DANS DES FOURS A PARTIR D'UNE STATION MULTI-CASSETTES - Patent 1388163

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EP 1 388 163 A2

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(88)	Date de publication A3:
	27.02.2003

(43)	Date de publication:
	11.02.2004 Bulletin 2004/07

(21)	Numéro de dépôt: 02730403.9

(22)	Date de dépôt: 14.05.2002

(51)	Int. Cl.⁷: H01L 21/00

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR2002/001619

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2002/093617 (21.11.2002 Gazette 2002/47)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
	Etats d'extension désignés:
	AL LT LV MK RO SI

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Priorité:

14.05.2001 FR 0106756

(71)	Demandeur: Semco Engineering S.A.
	34196 Montpellier cedex 5 (FR)

(72)	Inventeurs:
	PELLEGRIN, Yvon F-34000 Montpellier (FR) GIRAL, Claude F-34000 Montpellier (FR)

(74)	Mandataire: Ravina, Bernard
	Ravina S.A.,8,rue des Briquetiers,BP 77,ZA de Font Grasse 31703 Blagnac Cédex 31703 Blagnac Cédex (FR)

(54)	DISPOSITIF DE CHARGEMENT ET DE DECHARGEMENT DE PLAQUETTES DE SILICIUM DANS DES FOURS A PARTIR D'UNE STATION MULTI-CASSETTES