Scanner und Verfahren zum Betreiben eines Scanners

Abstract

 Die Erfindung betrifft einen Scanner, wobei eine Position eines beweglichen Teils des Scanners unter Vorgabe einer Führungsgröße, die sich wiederholt in gleicher Weise ändert, eingestellt wird. Ein der Führungsgröße entsprechendes Führungssignal wird einem Regler (3) zugeführt, wobei der Regler (3) zum Ausregeln einer Sollwertabweichung bei Vorliegen einer zeitlich konstanten Führungsgröße ausgestaltet ist. Ein Regelfehler des Reglers (3), der auf Grund der Änderung der Führungsgröße entsteht, wird korrigiert, indem eine Sollwertabweichung der Position des beweglichen Teils oder eine äquivalente Größe ausgewertet wird,
daraus ein Korrektursignal gewonnen wird und
ein Ausgangssignal des Reglers (3) unter Verwendung des Korrektursignals verändert wird.

Beschreibung

[0001] Die Erfindung betrifft einen Scanner mit einer Positions-Regeleinrichtung und ein Verfahren zum Betreiben eines Scanners.

[0002] Scanner werden insbesondere zum Gewinnen von Bildinformationen und von anderen über einfallende elektromagnetische Strahlung gewinnbaren Informationen scanbarer Objekte oder Räume mit unterschiedlichen Anforderungen an die Präzision des Scanvorganges benötigt. Für ein relativ unregelmäßiges Scannen reicht es aus, ein bewegliches Teil des Scanners unter Vorgabe einer sich ändernden Führungsgröße lediglich anzusteuern. Wird jedoch eine hohe Präzision des Scanvorganges gefordert, ist es wünschenswert, eine Sollwertabweichung der Position des beweglichen Teils zu ermitteln und ggf. zu korrigieren. Mit einer derartigen Regelung sind jedoch speziell bei Scannern Probleme verbunden.

[0003] Zweckmäßigerweise wird bei Scannern ein zeitlicher Verlauf zumindest einer Führungsgröße vorgegeben und in gleicher Weise vielfach wiederholt, insbesondere in gleichen zeitlichen

[0004] Abständen (periodisch) wiederholt. Daneben kann es weitere Führungsgrößen oder sich nicht in derselben Weise wiederholende Änderungen der Führungsgröße geben, z. B. um einen Vorschub eines Stellgliedes zwischen zwei Zyklen der Änderung der ersten Führungsgröße und/oder während eines Zyklus vorzunehmen und/oder um einen Offset einer Stellgröße zu verändern.

[0005] Regler, die zum Ausregeln einer Sollwertabweichung einer Regelgröße bei Vorliegen einer zeitlich konstanten Führungsgröße ausgestaltet sind, liefern bei sich zeitlich ändernder Führungsgröße nur bei hohen Abtastraten und/oder hoher Regelverstärkung zufriedenstellende Ergebnisse. Damit wird die Regelung jedoch empfindlich für parasitäre Einflüsse und Parameterschwankungen der Regelstrecke, beispielsweise durch Reibung in mechanisch beweglichen Teilen des Scanners und auf Grund von temperaturabhängigen Eigenschaften der Regelstrecke, etwa der Temperaturabhängigkeit von elektrischen Widerständen eines Scanner-Motors.

[0006] Ein weiteres Problem bei Scannern besteht darin, dass die Regelstrecke auf Grund der Zeitkonstanten des Scanner-Motors träge ist und daher nur mit Verzögerung auf ein Stellsignal anspricht. Die Regelstrecke hat daher Tiefpasscharakteristik. Andererseits werden bei Reglern mit Vorteil inverse oder näherungsweise inverse Modelle der Regelstrecke angewendet, die in dem hier vorliegenden Fall folglich Hochpasscharakteristik haben würden. Damit wären hohe Verstärkungen eines Messrauschens im Regelkreis und anderer Störsignale verbunden.

[0007] Aufgabe der Erfindung ist es, einen Scanner mit einer Positions-Regeleinrichtung und ein Verfahren zum Betreiben eines Scanners anzugeben, die einen Scanvorgang mit hoher Präzision und Regelmäßigkeit ermöglichen.

[0008] Es wird vorgeschlagen, einen Regler zu verwenden, der zum Ausregeln einer Sollwertabweichung einer Regelgröße bei Vorliegen einer zeitlich konstanten Führungsgröße ausgestaltet ist, und damit eine Korrektureinrichtung zum Korrigieren eines Regelfehlers des Reglers zu kombinieren. Die Korrektureinrichtung korrigiert den Regelfehler des Reglers, der auf Grund einer sich in gleicher Weise wiederholenden zeitlichen Änderung eines Sollwertes der Regelgröße entsteht.

[0009] Bei dem Scanner können der Regler und die Korrektureinrichtung voneinander getrennte Signaleingänge jeweils zum Empfang eines Eingangsignals aufweisen, wobei die Eingangsignale jeweils die Sollwertabweichung, eine äquivalente Größe oder eine daraus abgeleitete Größe wiedergeben. Es wird weiter vorgeschlagen, dass eine Kombinationseinrichtung zum Kombinieren von Ausgangssignalen des Reglers und der Korrektureinrichtung vorgesehen ist, wobei die Kombinationseinrichtung eingangsseitig mit einem Signalausgang des Reglers und einem Signalausgang der Korrektureinrichtung sowie ausgangsseitig mit einer Stelleinrichtung zum Einstellen einer Position eines beweglichen Teils des Scanners verbunden ist.

[0010] Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird der Regelfehler des Reglers korrigiert, indem eine Sollwertabweichung der Position des beweglichen Teils oder eine äquivalente Größe ausgewertet wird, daraus ein Korrektursignal gewonnen wird und ein Ausgangssignal des Reglers unter Verwendung des Korrektursignals verändert wird.

[0011] Die Erfindung ermöglicht es, einen beliebigen Regler zu verwenden. Dies kann ein konventioneller Regler sein, der nur dafür ausgelegt ist, eine Sollwertabweichung einer Regelgröße bei Vorliegen einer zeitlich konstanten Führungsgröße auszuregeln. Der Regler kann aber auch ein anderer Regler sein. Ferner ist es auf Grund der außerhalb des Reglers vorgenommenen Korrektur des Regelfehlers möglich, mit moderaten Abtastraten, geringen Regelverstärkungen und/oder beliebigen geeigneten Modellen der Regelstrecke zu arbeiten. Der'Regler kann daher unempfindlich gegen parasitäre Einflüsse, Parameterschwankungen und/oder Störsignale ausgelegt werden.

[0012] Bevorzugt wird, die Sollwertabweichung über zumindest einen Zyklus der Änderung der Führungsgröße auszuwerten und einen daraus gewonnenen Verlauf des Korrektursignals für die Korrektur des Regelfehlers in zumindest einem späteren Zyklus der Änderung der Führungsgröße zu verwenden. Bei dem Scanner kann hierfür die Korrektureinrichtung ein Finite Impulse Response Filter (FIR-Filter) aufweisen, das einen Signaleingang aufweist, der mit dem Signaleingang der Korrektureinrichtung verbunden oder mit diesem identisch ist. Eine Mehrzahl von Korrekturwerten, insbesondere ein vollständiger Satz für einen kompletten Zyklus kann in einer Speichereinrichtung gespeichert werden, vorzugsweise in einem Ringspeicher.

[0013] Dieser Ausgestaltung liegt der Gedanke zugrunde, dass der Regelfehler eines Reglers, der auf Grund einer sich in gleicher Weise wiederholenden Änderung der Führungsgröße entsteht, reproduzierbar ist. Dies gilt bei Reglereinstellungen mit guter Dämpfung selbst bei Auftreten von parasitären Einflüsse, Parameterschwankungen und/oder Störsignalen näherungsweise sogar für den gesamten Regelfehler.

[0014] Um die bereits durch das FIR-Filter erzeugte Verzögerung, falls erforderlich, auf den Abstand der Zyklen anzupassen, wird vorgeschlagen, ein Verzögerungsglied in Reihe zu dem FIR-Filter zu schalten. Bei sich periodisch wiederholenden Zyklen reicht es aus, eine Verzögerungszeit des Verzögerungsgliedes einmalig so einzustellen oder zu wählen, dass die Summe der beiden Verzögerungszeiten gleich der Periodenlänge ist.

[0015] Vorzugsweise ist eine zweite Kombinationseinrichtung zum Kombinieren, insbesondere Summieren, eines Ausgangssignals der Speichereinrichtung mit einem Ausgangssignal einer Ermittlungseinrichtung zur Ermittlung der Korrektur vorgesehen. Jeweils ein Eingang der zweiten Kombinationseinrichtung ist mit einem Ausgang der Speichereinrichtung bzw. einem Ausgang der Ermittlungseinrichtung verbunden. Weiterhin ist ein Ausgang der zweiten Kombinationseinrichtung mit einem Eingang der Speichereinrichtung verbunden. Insbesondere mit einer derartigen Anordnung können die Korrekturwerte von Zyklus zu Zyklus verbessert und an eventuelle Änderungen der Eigenschaften und/oder Einstellungen der Regelstrecke angepasst werden.

[0016] Ist die Kombinationseinrichtung als Summiereinrichtung ausgestaltet, ist diese Struktur einem digitalen Integrator vergleichbar. Die Struktur wird im Folgenden als Zyklusintegrator bezeichnet, wenn Korrekturwerte mindestens für einen vollständigen Zyklus gespeichert sind bzw. werden.

[0017] Der Scanner mit Zyklusintegrator hat den Vorteil, dass periodische Folgen von Führungssignalen selbst dann fehlerfrei umgesetzt werden können, wenn die Regelstrecke ein nichtlineares Stellverhalten hat, beispielsweise dadurch, dass das Ansprechverhalten des Scanner-Motors von der momentanen Position des Motors abhängt. Ein derartiges nichtlineares Stellverhalten wiederholt sich in gleicher Weise in jedem Zyklus. Der entsprechende Regelfehler kann daher kompensiert werden.

[0018] Insbesondere bei dem Zyklusintegrator, aber auch ganz generell, sofern die Korrektureinrichtung ein integrierendes Verhalten aufweist, wird bevorzugt, dass die Sollwertabweichung wiederholt über jeweils einen Zyklus der Änderung der Führungsgröße ausgewertet wird und jeweils aus einem der Zyklen Korrektursignal gewonnen werden, mit denen der Regelfehler nur teilweise kompensierbar ist, insbesondere die Sollwertabweichung nur auf einen Bruchteil der Sollwertabweichung des Zyklus reduzierbar ist. Aufgrund des integrierenden Verhaltens wird der verbleibende Regelfehler von Zyklus zu Zyklus weiter verringert.

[0019] Diese Ausgestaltung hat den Vorteil, dass nicht periodische Störsignale nur abgeschwächt in die Korrektur eingehen. Bei der Einstellung des Grades der Kompensation bzw. Korrektur, die in dem nächstfolgenden Zyklus erreicht werden soll, ist daher ein Kompromiss zwischen der Störanfälligkeit und der Schnelligkeit der Reaktion auf Regelfehler zu finden. Insbesondere kann der Grad durch Einstellen der Ermittlungseinrichtung zur Ermittlung von Korrekturwerten, z. B. des FIR-Filters, eingestellt werden.

[0020] Ein Nachteil eines integrierenden Verhaltens der Korrektureinrichtung besteht darin, dass Sprungstellen im Verlauf der sich ändernden Führungsgröße, welche aufgrund einer Stellbegrenzung der Stelleinrichtung nicht ausgeregelt werden können, am Ausgang der Korrektureinrichtung endlos anwachsend zu einer Übersteuerung führen. Zur Lösung dieses Problems wird vorgeschlagen, zwischen dem Ausgang der Speichereinrichtung und dem zugeordneten Eingang der zweiten Kombinationseinrichtung ein Tiefpassfilter, insbesondere ein nicht kausales Tiefpassfilter, anzuordnen. Eine derartige Anordnung führt deshalb zu einem guten Korrekturergebnis, weil die in der Speichereinrichtung gespeicherten Korrekturwerte bereits aus einem vergangenen Zyklus stammen. Damit wird zwar das integrierende Verhalten aufgehoben. Jedoch kann durch zusätzliche Maßnahmen, nämlich durch Berücksichtigung der Aussteuerbarkeit der Regelstrecke bei der Erzeugung der Führungssignale, durch numerisch exakte Erzeugung der Führungssignale und durch Wahl einer schwachen Tiefpasswirkung des Tiefpassfilters, näherungsweise ein integrierendes Verhalten erzielt werden.

[0021] Eine Weiterbildung des Scanners bzw. des Verfahrens zum Betreiben eines Scanners betrifft den Fall, dass ein Anteil des Führungssignals bzw. ein weiteres Führungssignal an einem Eingang der Positions-Regeleinrichtung sich nicht wiederholt in gleicher Weise ändert. Es wird vorgeschlagen, diesen Anteil bzw. das weitere Führungssignal zwar dem Regler zuzuführen, jedoch nicht der Korrektureinrichtung. Dies kann beispielsweise dadurch erreicht werden, dass zwischen dem Eingang der Positions-Regeleinrichtung und dem Signaleingang der Korrektureinrichtung eine Eliminierungs-Einrichtung zur Eliminierung dieses Anteils bzw. dieses Führungssignals angeordnet wird.

[0022] Im Folgenden wird die Erfindung anhand von Ausführungsbeispielen näher erläutert. Ein Ausführungsbeispiel ist in Fig. 1, der einzigen Figur der beigefügten Zeichnung, schematisch dargestellt.

Fig. 1

zeigt ein regelungstechnisches Schaltbild einer Positions-Regeleinrichtung mit Regelstrecke eines Scanners.

[0023] Ein sich periodisch änderndes Führungssignal S_P und ein sich in anderer Weise änderndes Führungssignal S_N liegen an separaten Eingängen der Positions-Regeleinrichtung 1 an.

[0024] Beispielsweise ist der Scanner an oder in einem Fahrzeug angeordnet und dient der Erstellung eines Infrarotbildes der Umgebung des Fahrzeuges. Hierzu weist der Scanner zumindest ein drehbewegliches Element zur Reflexion einfallender Infrarotstrahlung auf, dessen Drehstellung über einen Motorantrieb einstellbar ist.

[0025] Insbesondere weist der zeitliche Verlauf des Führungssignals S_P eine sägezahnartige Form mit linear ansteigenden Sägezahn-Kanten auf. Dem entspricht in dem Beispiel eine wiederholte Drehbewegung des drehbeweglichen Elements mit konstanter Winkelgeschwindigkeit über einen definierten DrehwinkelBereich.

[0026] Das Führungssignal S_N wird in einer nicht vorhersehbaren Weise geändert und/oder an den Eingang der Positions-Regeleinrichtung 1 angelegt. In obigem Beispiel wird das Führungssignal S_N z. B. dazu verwendet, Bewegungen des Fahrzeuges während der Fahrt auszugleichen, sodass weiterhin etwa derselbe Bereich der Umgebung des Fahrzeuges gescant wird.

[0027] Die Positions-Regeleinrichtung 1 weist einen konventionellen Regler 3 auf. Eingangsseitig ist der Regler 3 mit einer Summiereinrichtung 19 verbunden. Zwischen der Summiereinrichtung 19 und dem Regler 3 befindet sich eine Abzweigung, an der eine Signalleitung zu einer Subtraktionseinrichtung 16 abzweigt. Die Subtraktionseinrichtung 16 ist mit einem Signaleingang einer Korrektureinrichtung 5 verbunden.

[0028] Der Eingang, an dem das Führungssignal S_P anliegt, ist mit einem Eingang der Summiereinrichtung 19 verbunden. Der Eingang, an dem das Führungssignal S_N anliegt, ist mit einem Eingang einer Subtraktionseinrichtung 21 verbunden. Ein Ausgang der Subtraktionseinrichtung 21 ist mit einem weiteren Eingang der Summiereinrichtung 19 verbunden. Ein weiterer Eingang der Subtraktionseinrichtung 21 ist mit einem Signalausgang einer Regelstrecke 7 verbunden, sodass ein Ausgangssignal der Positions-Regeleinrichtung 1 rückführbar ist.

[0029] Auf der Eingangseite der Subtraktionseinrichtung 21 befindet sich eine Abzweigung, an der das Führungssignal S_N in Richtung eines Filters 23 abgezweigt wird. Ein Ausgang des Filters 23 ist mit einem weiteren Eingang der Subtraktionseinrichtung 16 verbunden.

[0030] Die Korrektureinrichtung 5 weist ein Verzögerungsglied 11 auf, deren Signaleingang mit dem Signaleingang der Korrektureinrichtung 5 verbunden ist. Ein Signalausgang des Verzögerungsgliedes 11 ist mit einem Eingang eines Filters 13 verbunden. Das Filter 13 ist in diesem Ausführungsbeispiel ein Finite Impulse Response Filter (FIR-Filter).

[0031] Ein Ausgang des Filters 13 ist wiederum mit einem Eingang eines Zyklusintegrators 9 verbunden. Der Zyklusintegrator 9 weist einen Ringsspeicher 15, ein Tiefpassfilter 17 und eine Summiereinrichtung 14 auf. Der Eingang des Zyklusintegrators 9 ist mit einem Eingang der Summiereinrichtung 14 verbunden. Ein weiterer Eingang der Summiereinrichtung 14 ist mit einem Ausgang des Tiefpassfilters 17 verbunden. Ein Ausgang der Summiereinrichtung 14 ist mit einer Verzweigung verbunden, an der sich eine Signalleitung in Richtung eines Eingangs einer Summiereinrichtung 6 und in Richtung eines Eingangs des Ringsspeichers 15 verzweigt.

[0032] Die Summiereinrichtung 6 weist einen weiteren Eingang auf, der mit einem Ausgang des Reglers 3 verbunden ist. Ein Ausgang der Summiereinrichtung 6 ist mit einem Eingang der Regelstrecke 7 verbunden.

[0033] Im Folgenden wird nun die Funktionsweise der Regelung beschrieben:

[0034] Das vom Ausgang der Regelstrecke 7 rückgeführte Ausgangssignal der Regelstrecke 7 wird von dem zumindest zeitweise an der Subtraktionseinrichtung 21 anliegenden Führungssignal S_N abgezogen. Das resultierende Signal wird an der Summiereinrichtung.19 zu dem Führungssignal S_P hinzu addiert. Das Additionssignal gibt die momentane Sollwertabweichung der Regelstrecke 7 wieder. Der Regler 3 gibt ein entsprechendes Stellsignal zu der Summiereinrichtung 6 aus.

[0035] An der Subtraktionseinrichtung 16 wird von dem Additionssignal ein Ausgangssignal des Filters 23 abgezogen. Das Filter 23 filtert das Führungssignal S_N mit der Übertragungsfunktion

wobei F_r eine genäherte signaltechnische Übertragungsfunktion des Reglers 3 und F_S eine genäherte signaltechnische Übertragungsfunktion der Regelstrecke 7 ist. Durch die Filterung und die Subtraktion an der Subtraktionseinrichtung 16 wird im Ergebnis das Führungssignal S_N (näherungsweise) aus dem Additionssignal eliminiert. Daher steht der Korrektureinrichtung 5 eine entsprechend modifizierte Sollwertabweichung mit lediglich periodischen Anteilen der Führungssignale als Eingangssignal zur Verfügung. Das daraus berechenbare Korrektursignal kann also auch in Zyklen verwendet werden, in denen kein Führungssignal S_N oder ein anderes Führungssignal S_N am Eingang der Positions-Regeleinrichtung 1 anliegt.

[0036] Das Eingangssignal der Korrektureinrichtung 5 wird zunächst in dem Verzögerungsglied 11 so verzögert, dass die am Ausgang des Filters 13 erzielte Gesamt-Verzögerung genau einer Periodenlänge des Führungssignals S_P entspricht. Das am Eingang des Filters 13 anliegende Signal kann in dem Filter 13 diversen Operationen unterzogen werden. Insbesondere kann die Amplitude des Signals um einen konstanten Faktor reduziert werden, um die bereits oben im allgemeinen Teil der Beschreibung beschriebene nur teilweise Kompensation des Regelfehlers zu erreichen.

[0037] Bei einer alternativen Ausgestaltung ist das Verzögerungsglied nicht vor sondern hinter dem Filter 13 angeordnet. Auch ist es möglich, eine Mehrzahl von Verzögerungsgliedern vor und/oder hinter dem Filter 13 anzuordnen.

[0038] Bei der in Fig. 1 dargestellten Ausgestaltung liegt am Ausgang des Filters 13 ein aus der Sollwertabweichung abgeleitetes Korrektursignal an. In dem zweiten Zyklus seit Betriebsbeginn oder seit einem Zurücksetzen der Positions-Regeleinrichtung 1 kann das Korrektursignal unmittelbar zur Korrektur des am Ausgang des Reglers 3 anliegenden Stellsignales verwendet werden. In diesem Zyklus ist der Ringspeicher 15 noch leer bzw. sind die gespeicherten Korrekturwerte gleich null, sodass durch die Summiereinrichtung 14 keine Veränderung an dem Ausgangssignal des Filters 13 vorgenommen wird.

[0039] In dem zweiten Zyklus und in allen folgenden Zyklen werden jedoch dem Ausgangssignal der Summiereinrichtung 14 entsprechende Korrekturwerte in dem Ringspeicher 15 abgelegt, die zur Korrektur in jeweils folgenden Zyklen zur Verfügung stehen und nach der Filterung in dem Tiefpassfilter 17 durch die Summiereinrichtung 14 zu dem Ausgangsignal des Filters 13 hinzu addiert werden.

[0040] Das jeweilige Ausgangssignal der Summiereinrichtung 14 wird der Summiereinrichtung 6 zugeführt und dort zu dem Stellsignal am Ausgang des Reglers 3 hinzu addiert. Es entsteht ein korrigiertes Stellsignal, das einer nicht dargestellten Stelleinrichtung der Regelstrecke 7 zugeführt wird.

Ansprüche

1. Scanner mit einer Positions-Regeleinrichtung (1), die Folgendes aufweist:

- einen Regler (3), der zum Ausregeln einer Sollwertabweichung einer Regelgröße ausgestaltet ist, insbesondere bei Vorliegen einer zeitlich konstanten Führungsgröße,

- eine Korrektureinrichtung (5) zum Korrigieren eines Regelfehlers des Reglers (3), der auf Grund einer zeitlichen Änderung des Sollwertes der Regelgröße entsteht,

- eine Stelleinrichtung zum Einstellen einer Position eines beweglichen Teils des Scanners,

wobei der Regler (3) und die Korrektureinrichtung (5) voneinander getrennte Signaleingänge jeweils zum Empfang eines Eingangssignals aufweisen, wobei eine Kombinationseinrichtung (6) zum Kombinieren von Ausgangssignalen des Reglers (3) und der Korrektureinrichtung (5) zu einem Kombinationssignal vorgesehen ist und wobei die Kombinationseinrichtung (6) eingangsseitig mit einem Signalausgang des Reglers (3) und einem Signalausgang der Korrektureinrichtung (5) sowie ausgangsseitig mit der Stelleinrichtung verbunden ist.

2. Scanner nach Anspruch 1, wobei die Korrektureinrichtung (5) ein Finite Impulse Response Filter (FIR-Filter) (13) aufweist, das einen Signaleingang aufweist, der mit dem Signaleingang der Korrektureinrichtung (5) verbunden oder mit diesem identisch ist.

3. Scanner nach Anspruch 2, wobei zwischen dem Signaleingang der Korrektureinrichtung (5) und dem Signalausgang der Korrektureinrichtung (5) ein Verzögerungsglied (11) in Reihe zu dem FIR-Filter (13) geschaltet ist.

4. Scanner nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Korrektureinrichtung (5) eine Speichereinrichtung (15) zum Speichern einer Mehrzahl von Korrekturwerten zur Korrektur einer Ausgangsgröße des Reglers (3) aufweist.

5. Scanner nach Anspruch 4, der eine Ermittlungseinrichtung, insbesondere das FIR-Filter (13) nach Anspruch 2, zum Ermitteln eines Korrekturwertes aufweist und der eine zweite Kombinationseinrichtung (14) zum Kombinieren eines Ausgangssignals der Speichereinrichtung (15) mit einem Ausgangssignal der Ermittlungseinrichtung aufweist, wobei jeweils ein Eingang der zweiten Kombinationseinrichtung (14) mit einem Ausgang der Ermittlungseinrichtung bzw. einem Ausgang der Speichereinrichtung (15) verbunden ist und wobei ein Ausgang der zweiten Kombinationseinrichtung (14) mit einem Eingang der Speichereinrichtung (15) verbunden ist.

6. Scanner nach Anspruch 5, wobei zwischen den Ausgang der Speichereinrichtung (15) und den damit verbundenen Eingang der zweiten Kombinationseinrichtung (14) ein Tiefpassfilter (17) geschaltet ist.

7. Scanner nach einem der Ansprüche 1 bis 6, wobei zwischen einen Signaleingang der Positions-Regeleinrichtung (1) für Führungssignale (S_P, S_N) und den Signaleingang der Korrektureinrichtung (5) eine Eliminierungs-Einrichtung (16, 23) zur Eliminierung von Anteilen (S_N) der Führungssignale (S_P, S_N), die sich nicht in der gleichen Weise wiederholt ändern, geschaltet ist.

8. Verfahren zum Betreiben eines Scanners, wobei eine Position eines beweglichen Teils des Scanners unter Vorgabe einer Führungsgröße, die sich wiederholt in gleicher Weise ändert, eingestellt wird, wobei ein der Führungsgröße entsprechendes Führungssignal einem Regler (3) zugeführt wird, wobei der Regler (3) zum Ausregeln einer Sollwertabweichung bei Vorliegen einer zeitlich konstanten Führungsgröße ausgestaltet ist und wobei ein Regelfehler des Reglers (3), der auf Grund der Änderung der Führungsgröße entsteht, korrigiert wird, indem

- eine Sollwertabweichung der Position des beweglichen Teils oder eine äquivalente Größe ausgewertet wird,

- daraus ein Korrektursignal gewonnen wird und

- ein Ausgangssignal des Reglers (3) unter Verwendung des Korrektursignals verändert wird.

9. Verfahren nach Anspruch 8, wobei die Sollwertabweichung über zumindest einen Zyklus der Änderung der Führungsgröße ausgewertet wird und ein daraus gewonnener Verlauf des Korrektursignals für die Korrektur des Regelfehlers in zumindest einem späteren Zyklus der Änderung der Führungsgröße verwendet wird.

10. Verfahren nach Anspruch 9, wobei die Sollwertabweichung wiederholt über jeweils einen Zyklus der Änderung der Führungsgröße ausgewertet wird und wobei jeweils aus einem der Zyklen Korrektursignale gewonnen werden, mit denen der Regelfehler nur teilweise kompensierbar ist, insbesondere die Sollwertabweichung nur auf einen Bruchteil der Sollwertabweichung des Zyklus reduzierbar ist.

Zeichnung