PROCEDE DE FABRICATION D'UN MICRO-MIROIR OPTIQUE ET MICRO-MIROIR OU MATRICE DE MICRO-MIROIRS OBTENUS PAR CE PROCEDE - Patent 1390794

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EP 1 390 794 A2

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(88)	Date de publication A3:
	27.11.2003

(43)	Date de publication:
	25.02.2004 Bulletin 2004/09

(21)	Numéro de dépôt: 02704816.4

(22)	Date de dépôt: 13.02.2002

(51)	Int. Cl.⁷: G02B 26/08

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/FR2002/000546

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2002/065187 (22.08.2002 Gazette 2002/34)

(84)	Etats contractants désignés:
	AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
	Etats d'extension désignés:
	AL LT LV MK RO SI

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Priorité:

15.02.2001 FR 0102067

(71)	Demandeur: Teem Photonics
	38240 Meylan (FR)

(72)	Inventeur:
	VALETTE, Serge F-38100 GRENOBLE (FR)

(74)	Mandataire: Poulin, Gérard et al
	Société BREVATOME3, rue du Docteur Lancereaux 75008 Paris 75008 Paris (FR)

(54)	PROCEDE DE FABRICATION D'UN MICRO-MIROIR OPTIQUE ET MICRO-MIROIR OU MATRICE DE MICRO-MIROIRS OBTENUS PAR CE PROCEDE