| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR |
| (30) |
Priorität: |
15.05.2001 DE 10123725
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| (71) |
Anmelder: |
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- Carl Zeiss SMT AG
73447 Oberkochen (DE)
- CARL ZEISS SEMICONDUCTOR MANUFACTURING TECHNOLOGIES AG
73447 Oberkochen (DE)
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| (72) |
Erfinder: |
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- BRUNOTTE, Martin
73431 Aalen (DE)
- HARTMAIER, Jürgen
73632 Aalen (DE)
- HOLDERER, Hubert
89551 Königsbronn (DE)
- KAISER, Winfried
73431 Aalen (DE)
- KOHL, Alexander
73430 Aalen (DE)
- KUGLER, Jens
73540 Heubach (DE)
- MAUL, Manfred
73434 Aalen (DE)
- WAGNER, Christian
NL-5521 KS Eersel (NL)
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| (74) |
Vertreter: Ostertag, Ulrich, Dr. et al |
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PatentanwälteDr. Ulrich OstertagDr. Reinhard OstertagEibenweg 10
70597 Stuttgart
70597 Stuttgart (DE) |
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