(19)
(11) EP 1 390 970 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
25.02.2004  Patentblatt  2004/09

(21) Anmeldenummer: 01969202.9

(22) Anmeldetag:  30.07.2001
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/308, H01L 21/033
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2001/002915
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/097873 (05.12.2002 Gazette  2002/49)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 29.05.2001 DE 10127580

(71) Anmelder: Infineon Technologies AG
81669 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BORCHERT, Bernd
    85368 Moosburg (DE)
  • BAUMEISTER, Horst
    81369 München (DE)
  • GESSNER, Roland
    81538 Geretsried 1 (DE)
  • VEUHOFF, Eberhard
    85521 Ottobrunn (DE)
  • WENGER, Gundolf
    85579 Neubiberg (DE)

(74) Vertreter: Gross, Felix, Dr. 
PatentanwälteMaikowski & NinnemannPostfach 15 09 20
10671 Berlin
10671 Berlin (DE)

   


(54) MASKENTECHNIK ZUR PRODUKTION VON HALBLEITER-BAUELEMENTEN, INSBESONDERE EINER BH-LASERDIODE