(19)

(11)

EP 1 390 985 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 20.02.2003 (43) Veröffentlichungstag: 25.02.2004  Patentblatt  2004/09 (21) Anmeldenummer: 02745102.0 (22) Anmeldetag:  29.05.2002

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 29/94 (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2002/001995 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2002/097900 (05.12.2002 Gazette  2002/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR (30) Priorität: 30.05.2001 DE 10126328 (71) Anmelder: Infineon Technologies AG 81669 München (DE)	(72) Erfinder: MAGET, Judith 82024 Taufkirchen (DE) (74) Vertreter: Epping, Hermann, Fischer  Patentanwaltsgesellschaft mbHRidlerstrasse 55 80339 München 80339 München (DE)