(19)
(11) EP 1 393 134 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3:
02.10.2003

(43) Veröffentlichungstag:
03.03.2004  Patentblatt  2004/10

(21) Anmeldenummer: 02743087.5

(22) Anmeldetag:  24.05.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: G03F 7/20, G21K 1/06
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/005688
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/099534 (12.12.2002 Gazette  2002/50)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 07.06.2001 DE 10127449

(71) Anmelder:
  • Carl Zeiss SMT AG
    73447 Oberkochen (DE)
  • ASML Netherlands B.V.
    5503 LA Veldhoven (NL)

(72) Erfinder:
  • WEISS, Markus
    D-73431 Aalen (DE)
  • KLEEMANN, Bernd
    D-73431 Aalen (DE)
  • OSTERRIED, Karlfried
    D-73431 Aalen (DE)
  • SINGER, Wolfgang
    D-73431 Aalen (DE)
  • WANGLER, Johannes
    D-89551 Königsbronn (DE)
  • MELZER, Frank
    D-73469 Utzmemming (DE)
  • HEISLER, Andreas
    D-89555 Steinheim (DE)
  • BANINE, Vadim, Yevgenyevich
    NL-5704 Haimond (NL)

(74) Vertreter: Dr. Weitzel & Partner 
Friedenstrasse 10
89522 Heidenheim
89522 Heidenheim (DE)

   


(54) BELEUCHTUNGSSYSTEM MIT EINER VIELZAHL VON EINZELGITTERN