(19)
(11) EP 1 393 354 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.03.2004  Patentblatt  2004/10

(21) Anmeldenummer: 02743086.7

(22) Anmeldetag:  23.05.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 21/00, G01J 5/06, C23C 16/48, H05B 3/00, C30B 31/12
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2002/005683
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/095804 (28.11.2002 Gazette  2002/48)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
AL LT LV MK RO SI

(30) Priorität: 23.05.2001 DE 10125318
23.05.2002 DE 10222879

(71) Anmelder: Mattson Thermal Products GmbH
89160 Dornstadt (DE)

(72) Erfinder:
  • HAUF, Markus
    89335 Ichenhausen (DE)
  • STRIEBEL, Christoph
    89160 Dornstadt (DE)

(74) Vertreter: Wagner & Geyer 
Gewürzmühlstrasse 5
D-80538 München
D-80538 München (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM THERMISCHEN BEHANDELN VON SUBSTRATEN