(19)
(11) EP 1 393 388 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.03.2004  Patentblatt  2004/10

(21) Anmeldenummer: 02726090.0

(22) Anmeldetag:  13.05.2002
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC)7: H01L 51/40
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2002/001717
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2002/099908 (12.12.2002 Gazette  2002/50)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AT BE CH CY DE DK ES FI FR GB GR IE IT LI LU MC NL PT SE TR

(30) Priorität: 01.06.2001 DE 10126859

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80506 München (DE)

(72) Erfinder:
  • BERNDS, Adolf
    91083 Baiersdorf (DE)
  • CLEMENS, Wolfgang
    90617 Puschendorf (DE)
  • FIX, Walter
    90762 Fürth (DE)
  • KNOBLOCH, Alexander, Friedrich
    91233 Neukirchen (DE)
  • ULLMANN, Andreas
    90765 Fürth (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON LEITFÄHIGEN STRUKTUREN MITTELS DRUCKTECHNIK SOWIE DARAUS HERGESTELLTE AKTIVE BAUELEMENTE FÜR INTEGRIERTE SCHALTUNGEN